著者典拠情報

著者標目形：
野々垣, 三郎||ノノガキ, サブロウ
属性：
Personal
から見よ参照形：
Nonogaki, Saburo
注記：
日立製作所中央研究所主管研究長,工学博士
著書:マイクロリソグラフィー(丸善)
著者典拠ID：
DA01285347


1.

図書
図書
1. 微細加工とレジスト
野々垣三郎著
出版情報: 東京 : 共立出版, 1987.11
シリーズ名: 高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3
所蔵情報: 図書館
2.

図書
図書
2. マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる
野々垣三郎著
出版情報: 東京 : 丸善, 1986.10
シリーズ名: Frontier technology series ; [002]
所蔵情報: 図書館