超精密平面と面粗さ
- 種類:
- 図書
- 責任表示:
- 次世代の超精密加工技術編集委員会編集
- 出版情報:
- 東京 : 産業技術サービスセンター, 1993.10
- 著者名:
- 次世代の超精密加工技術編集委員会 <DA08403962>
- シリーズ名:
- 次世代の超精密加工技術 / 次世代の超精密加工技術編集委員会編集 ; 上巻 <BN09757999>
- ISBN:
- 9784915957222 [4915957225]
- 注記:
- 企画:日本工業技術振興協会
編集委員会:小林昭ほか
執筆者:小林昭ほか
各章末:参考文献
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