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超精密平面と面粗さ

種類:
図書
責任表示:
次世代の超精密加工技術編集委員会編集
出版情報:
東京 : 産業技術サービスセンター, 1993.10
著者名:
次世代の超精密加工技術編集委員会 <DA08403962>  
シリーズ名:
次世代の超精密加工技術 / 次世代の超精密加工技術編集委員会編集 ; 上巻 <BN09757999>
ISBN:
9784915957222 [4915957225]  CiNii Books  Calil
注記:
企画:日本工業技術振興協会
編集委員会:小林昭ほか
執筆者:小林昭ほか
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