プラズマ化学 : 膜形成と表面処理
- 種類:
- 図書
- 出版情報:
- 東京 : 化学工業社, 1986.4
- シリーズ名:
- 別冊化学工業 ; 30-5 <BN01377906>
- 注記:
- 各章末:参考文献
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