フォトエッチングと微細加工

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図書

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楢岡清威, 二瓶公志共著

出版情報:

東京 : 総合電子出版社
東京 : 工学図書 (発売), 1977.5

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内容紹介

目次情報

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1 図書フォトエッチング古関敬三日刊工業新聞社	7 図書微細加工とレジスト野々垣, 三郎共立出版
2 図書ドライプロセス応用技術 : 超微細素子の製法小林, 春洋(1925-) 日刊工業新聞社	8 図書超微細加工の基礎 : 半導体製造技術麻蒔, 立男(1934-) 日刊工業新聞社
3 図書微細加工のはなし高梨, 明紘日刊工業新聞社	9 図書ナノテクノロジの基礎と応用 : 超精密・超微細加工とエネルギビーム加工谷口, 紀男工業調査会
4 図書超微細加工入門古川, 静二郎(1934-), 浅野, 種正(1953-) オーム社	10 図書トコトンやさしい超微細加工の本麻蒔, 立男(1934-) 日刊工業新聞社
5 図書超微細加工技術応用物理学会, 徳山, 巍(1929-) オーム社	11 図書微細加工 : サブミクロン素子への展開中野, 朝安(1923-) 東京電機大学出版局
6 図書微細加工技術高分子学会エヌ・ティー・エス	12 図書ナノバイオ : 微細加工と計測技術の新展開高分子学会エヌ・ティー・エス