薄膜の基本技術
- 種類:
- 図書
- 責任表示:
- 金原粲著
- 出版情報:
- 東京 : 東京大学出版会, 1976.12
- 著者名:
- 金原, 粲(1933-) <DA00208588>
- シリーズ名:
- 物理工学実験 ; 5 <BN00057706>
- ISBN:
- 9784130630252 [4130630253]
- 注記:
- 参考書: p130-131
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