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プラズマプロセシングの基礎

種類:
図書
責任表示:
Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
出版情報:
東京 : 電気書院, 1985.11
著者名:
ISBN:
9784485661185 [4485661180]  CiNii Books  Calil
注記:
Glow discharge processes, c1980 の翻訳
参考文献: p[357]-386
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