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半導体プロセス

種類:: 図書
責任表示:: 西澤潤一編
出版情報:: 東京 : 工業調査会, 1979.8-1985.8
著者名:: 西澤, 潤一(1926-) <DA00235944>
シリーズ名:: 半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 16巻, 19巻, 22巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 3, 6, 9 <BN00178314>
ISBN:: 9784769310259 [4769310250] (その2)
9784769310464 [4769310463] (その3)
注記:: 各章末: 参考文献

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子書誌情報

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詳細

主題:	半導体
分類・件名:	NDC7 : 549 NDLSH : 半導体
タイトルのヨミ、その他のヨミ:	ハンドウタイプロセス
TTLL:	jpn
著者名ヨミ:	ニシザワ, ジュンイチ
言語:	日本語
形態:	3冊 ; 27cm
書誌ID:	BN00178154

内容紹介

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目次情報

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1 図書プロセスの低温化西澤, 潤一(1926-) 工業調査会	7 図書デバイスとプロセス西澤, 潤一(1926-), 半導体研究振興会工業調査会
2 図書プロセスの基礎西沢, 潤一(1926-) 工業調査会	8 図書化合物半導体の結晶成長と評価西澤, 潤一(1926-) 工業調査会
3 図書超LSI回路とプロセス西澤, 潤一(1926-) 工業調査会	9 図書化合物半導体の結晶成長と完全性西澤, 潤一(1926-) 工業調査会
4 図書プロセス評価西澤, 潤一(1926-) 工業調査会	10 図書半導体中における光過程 Pankove, Jacques I., 1922-, 西澤, 潤一(1926-) 近代科学社
5 図書半導体のおはなし西澤, 潤一(1926-) 日本規格協会	11 図書プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門市川, 幸美, 佐々木, 敏明, 堤井, 信力内田老鶴圃
6 図書はじめての半導体プロセス前田, 和夫(1935-) 技術評論社	12 図書日本の半導体開発 : 劇的発展を支えたパイオニア25人の証言西澤, 潤一(1926-), 大内, 淳義(1919-) 工業調査会