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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

種類:
図書
責任表示:
金原粲著
出版情報:
東京 : 東京大学出版会, 1984.3
著者名:
金原, 粲(1933-) <DA00208588>  
ISBN:
9784130610476 [4130610473]  CiNii Books  Calil
注記:
各章末: 参考文献
一般的参考書: p226
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