薄膜の作製・評価とその応用技術ハンドブック
- 種類:
- 図書
- 責任表示:
- 中井康雄[ほか]編
- 出版情報:
- 東京 : フジ・テクノシステム, 1984.11
- 著者名:
- 中井, 康雄 <DA00105188>
- 注記:
- 監修:権田俊一
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