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プラズマ/プロセスの原理. 第2版

種類:
図書
責任表示:
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
出版情報:
東京 : 丸善, 2010.1
著者名:
ISBN:
9784621082232 [462108223X]  CiNii Books  Calil
注記:
監修: 堀勝
参考文献: p[591]-604
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1 図書 半導体プラズマプロセス技術

菅野, 卓雄(1931-)

産業図書
7 図書 プロセスの工学

藤田, 重文(1909-), 東畑, 平一郎

東京化学同人
2 図書 プラズマプロセシングの基礎

Chapman, Brian N., 岡本, 幸雄

電気書院
8 図書 プロセスの低温化

西澤, 潤一(1926-)

工業調査会
3 図書 光・プラズマプロセシング

明石, 和夫(1928-)

日刊工業新聞社
9 図書 プロセスの基礎

西沢, 潤一(1926-)

工業調査会
4 図書 プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

プラズマ・核融合学会

森北出版
10 図書 プロセスの自動制御

Eckman, Donald P., 萩原, 進(1911-), 井上, 義祐, 守末, 利彌

近代科学社
5 図書 プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会, 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会

オーム社
11 図書 プロセスの計測と制御

宮崎, 誠一(1929-)

日刊工業新聞社
6 図書 プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門

市川, 幸美, 佐々木, 敏明, 堤井, 信力

内田老鶴圃
12 図書 プラズマ工学

小越, 澄雄(1949-)

電気書院