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プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門

種類:
図書
責任表示:
市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著
出版情報:
東京 : 内田老鶴圃, 2003.7
著者名:
ISBN:
9784753650484 [4753650480]  CiNii Books  Calil
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1 図書 プラズマ基礎工学

堤井, 信力

内田老鶴圃
7 図書 はじめての半導体プロセス

前田, 和夫(1935-)

技術評論社
2 図書 プラズマ気相反応工学

堤井, 信力, 小野, 茂

内田老鶴圃
8 図書 プラズマプロセシングの基礎

Chapman, Brian N., 岡本, 幸雄

電気書院
3 図書 プラズマと成膜の基礎

小沼, 光晴(1950-)

日刊工業新聞社
9 図書 プラズマ化学 : 膜形成と表面処理

化学工業社
4 図書 半導体プロセス

西澤, 潤一(1926-)

工業調査会
10 図書 半導体プラズマプロセス技術

菅野, 卓雄(1931-)

産業図書
5 図書 固体プラズマ

川村, 肇(1915-)

朝倉書店
11 図書 プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

プラズマ・核融合学会

森北出版
6 図書 気体プラズマ現象

奥田, 孝美 (1925-2004)

コロナ社
12 図書 プラズマ重合

長田, 義仁(1943-)

東京化学同人